紫外光晶圆记忆抹除 / 表面改制机系列

 紫外光晶圆记忆抹除/表面改制机

  > 254nm 非接触式光波照射，无电弧损伤晶圆线路问题。

  > 采用大功率(350W500W)灯管,高254nm照度,高ERASE效率.

  > 采用栅栏灯管拼接，高照射均匀度。

  > 无臭氧问题，不需厂务热排。

  > 操作安全性高操(防漏光/抽屉误开熄灯设计)。

 

1、8寸/12寸晶圆单片TYPE

晶圆尺寸	12/8 INCH
M/C尺寸	60×80×60 cm
M/C输入电源	AC 110V 60 Hz 1 PHASE / AC 220V 50 Hz 1 PHASE
灯管形态/功率	GRID TYPE MERCURY LAMP / 350W
波长	254nm

 

2、8寸/12寸晶圆多片TYPE

 

3、8寸15片/12寸6片晶圆TYPE

晶圆尺寸	12/8 INCH
M/C尺寸	117×92×94 cm
M/C输入电源	AC 220V 50 Hz 1 PHASE
灯管形态/功率	GRID TYPE MERCURY LAMP / 350W
波长	254nm