晶圆UV光阻固化机
晶圆 UV光阻固化机
> 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上.
> 防漏光安全设计,双开式闸门关闭后无漏光。
> 照度监控设计,生产中可动态监控照度。
> 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统。
> PC BASE MMI 人机界面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单。
设备特色：
1、强烈365/254nm 紫外光波非接触式照射，无电荷击穿问题，最能保护精细IC电路。
2、UV照度高达650mw/cm²，产速快。
3、适用12寸/8寸晶圆。
4、自动照度监控及灯管寿命管理。
5、防UV漏光及安全设计完备。
6、照射均匀性80%以上（初始值）（直径300mm圆5点量测）。
产品规格：
|
项目 |
规格 |
|
适用产品 |
12 / 8 寸晶圆（超薄片为 option） |
|
设备尺寸1（宽×深×高） |
主设备 120 × 220 × 223 cm |
|
设备尺寸2（宽×深×高） |
电控箱 100 × 100 × 180 cm |
|
电源 |
AC 380 / 220 V 50 / 60 Hz 3相 |
|
灯管总功率 |
19kw |
|
紫外光主波长 |
365 / 254 nm |
|
照度（新灯） |
650mw/cm² |
|
传片机构 |
晶圆手臂（单/双ARM可选）(附Mapping扫片器) |
|
LOAD PORT |
自动/手动 |
|
控制方式 |
PC BASE MMI 界面 |
|
连线 |
SECS / GEM (option) |
|
认证 |
SEMI S2 （option） |
