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晶圓光阻UV固化機20190964

晶圆UV光阻固化机

晶圆 UV光阻固化机

晶圓光阻UV固化機20190964

> 各灯管反射光路特殊设计,直径300mm圆5点照度均匀性80%以上.

> 防漏光安全设计,双开式闸门关闭后无漏光。

> 照度监控设计,生产中可动态监控照度。

> 照射灯箱模组化设计,可搭配现行EFEM系统。

> PC BASE MMI 人机界面, A.生产统计管理清单, B.灯管照度/寿命管理清单。

设备特色:

1、强烈365/254nm 紫外光波非接触式照射,无电荷击穿问题,最能保护精细IC电路。

2、UV照度高达650mw/cm²,产速快。

3、适用12寸/8寸晶圆。

4、自动照度监控及灯管寿命管理。

5、防UV漏光及安全设计完备。

6、照射均匀性80%以上(初始值)(直径300mm圆5点量测)。

产品规格:

项目

规格

适用产品

12 / 8 寸晶圆(超薄片为 option)

设备尺寸1(宽×深×高)

主设备 120 × 220 × 223 cm

设备尺寸2(宽×深×高)

电控箱 100 × 100 × 180 cm

电源

AC 380 / 220 V  50 / 60 Hz   3相

灯管总功率

19kw

紫外光主波长

365 / 254 nm

照度(新灯)

650mw/cm²

传片机构

晶圆手臂(单/双ARM可选)(附Mapping扫片器)

LOAD PORT

自动/手动

控制方式

PC BASE MMI 界面

连线

SECS / GEM (option)

认证

SEMI S2 (option)

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